產(chǎn)品特點:
? 該設(shè)備主要針對半導(dǎo)體晶圓中圖形以及標識蝕刻加工,運用相應(yīng)的精密定位識別系統(tǒng),實現(xiàn)加工件自動識別? 采用多軸機器人或搬運模組實現(xiàn)自動取放料功能,完成自動化加工? 廣泛應(yīng)于晶圓片中圖形以及標識蝕刻加工